1、前言

        在半導體芯片電子元器電子元器和集成化電線施工工藝中，建筑原材料、晶圓、集成電路芯片的測驗圖片是必切勿少的過程。近年來半導體芯片電子元器電子元器測驗圖片技術水平的成長 ，加數源表SMU運用檢測器臺的程序樂隊組合早就被廣泛性應用軟件于建筑原材料/小電子元器的電學因素證實中。加數源表SMU應有源測性能參數，可能發生直流電-電壓值(I-V)因素曲線擬合，是半導體芯片電子元器電子元器建筑原材料、電子元器電性能參數研究方法估測的重點；檢測器臺有人工手動開啟機組、系統自動定位式和全系統自動式三大，利用測驗圖片必須 會選擇匹配的設備既能。在選取時必須 提前準備檢測器的不銹鋼材質原料包括針尖的直勁與模樣，檢測器不銹鋼材質原料不相等，其電阻值不會相等；除此之外，檢測器尖剎車盤磨損和空氣污染也會對測驗圖片的結果發生決定。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、電極、DUT接展示

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        檢測器(qi)臺與(yu)源(yuan)表(biao)的聯系(xi)常(chang)有有有兩種(zhong)，其(qi)中一(yi)種(zhong)在用同軸(zhou)網聯系(xi)，另其(qi)中一(yi)種(zhong)在用三(san)同軸(zhou)網聯系(xi)。當(dang)在測量(liang)小直(zhi)流電(dian)(dian)壓(nA、pA)時，應在用三(san)同軸(zhou)呼叫轉移控(kong)制器(qi)和三(san)同軸(zhou)網纜。在連結源(yuan)表(biao)保護中端自測軟(ruan)件(jian)電(dian)(dian)線中，可能(neng)三(san)同軸(zhou)的保護層與(yu)內芯中是等電(dian)(dian)位差，不產生漏直(zhi)流電(dian)(dian)壓產生，才(cai)能(neng)延長小直(zhi)流電(dian)(dian)壓自測軟(ruan)件(jian)gps精度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2耐壓；3內攔截了層；4中央層；5外攔截了層；6外絕緣護套）

圖：三同水平線纜等效電路原理圖

  上圖圖示為三同軸網纜等效電路系統圖，輸出中檔HI和Guard互相的電勢差可以說為0，所以減少電纜線自身的的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S題材直流電源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸連到器與高級兩芯連到器進行的不同，可同一接駁數據信息、接地極和屏幕掉層，屏幕掉郊果好。和多芯數據線想必，三同軸數據線型式簡短，靠譜性強；和兩芯同軸數據線想必，有更高一些的屏幕掉機械性能和小數據信息的視頻傳輸效果。三同軸數據線的連到具體方法用了GUARD數據信息，發揮著了屏幕掉功用，更有好處于小數據信息的預估。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

使用的杜邦線轉BNC母頭通過連接方式；

- 三同軸連接 -

的使用三同軸轉移模組來連入。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

同時利用三同中線做銜接；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將普通型的三同軸換洗為超高壓專業三同中心線；壓力三同軸插頭的抗壓功能過強，普賽斯安全使用的壓力三同軸插頭可不可以抗壓3500V。

圖(tu)：左-進行高壓三同軸、右-硬性(xing)三同軸

HCPL 100大電流源表

大交流電量測定時，單根軟件測試探頭允許的交流電量有現，交流電量過大將會使得燒針后果，作用軟件測試結果，但是需在使用多軟件測試探頭電容串聯。

圖：多檢測器串聯表示

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面電級接連示意圖

圖：異面電極材料接入(ru)示圖

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針(zhen)(zhen)臺(tai)結構上有(you)很(hen)多金(jin)屬(shu)，在帶(dai)(dai)電(dian)的(de)環境下會存在很(hen)強的(de)靜(jing)電(dian)，一(yi)般探針(zhen)(zhen)臺(tai)會自帶(dai)(dai)大(da)地(di)連接(jie)(jie)(jie)線(xian)(xian)，使用中將探針(zhen)(zhen)臺(tai)接(jie)(jie)(jie)大(da)地(di)，避免釋放靜(jing)電(dian)給測(ce)試帶(dai)(dai)來(lai)影響。一(yi)般地(di)線(xian)(xian)分為(wei)兩類：一(yi)種是(shi)(shi)工(gong)作(zuo)(zuo)接(jie)(jie)(jie)地(di)，另一(yi)種是(shi)(shi)安(an)全(quan)性接(jie)(jie)(jie)地(di)。工(gong)作(zuo)(zuo)接(jie)(jie)(jie)地(di)是(shi)(shi)把(ba)金(jin)屬(shu)導(dao)(dao)體(ti)銅塊埋在土壤(rang)里， 再通(tong)過導(dao)(dao)線(xian)(xian)引出(chu)地(di)面，將導(dao)(dao)線(xian)(xian)接(jie)(jie)(jie)入設備的(de)接(jie)(jie)(jie)地(di)端(duan)口，形成接(jie)(jie)(jie)地(di)回(hui)路。 安(an)全(quan)性接(jie)(jie)(jie)地(di)是(shi)(shi)指使用探針(zhen)(zhen)臺(tai)金(jin)屬(shu)外(wai)殼(ke)自帶(dai)(dai)的(de)接(jie)(jie)(jie)地(di)線(xian)(xian)進行接(jie)(jie)(jie)地(di)，當探針(zhen)(zhen)臺(tai)金(jin)屬(shu)外(wai)殼(ke)發生絕緣損壞，外(wai)殼(ke)帶(dai)(dai)電(dian)時，電(dian)流沿著(zhu)其(qi)外(wai)殼(ke)自帶(dai)(dai)的(de)接(jie)(jie)(jie)地(di)線(xian)(xian)接(jie)(jie)(jie)入大(da)地(di)，以達到安(an)全(quan)的(de)目的(de)。

-連接線接地：探(tan)針臺的(de)連接線為同(tong)軸(zhou)線，兩(liang)根同(tong)軸(zhou)線的(de)內芯是信號線，從而導致兩(liang)根同(tong)軸(zhou)線的(de)外(wai)屏蔽層懸空(kong)，未(wei)起到屏蔽的(de)作用，在磁場環境復雜的(de)情況下會對測試產生較大的(de)干擾。因此，為了獲(huo)得較好的(de)測試效果(guo)，需要將同(tong)軸(zhou)線纜(lan)的(de)外(wai)屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和(he)材料對光源敏感，測(ce)試中如果(guo)不關閉光源會影響測(ce)試結果(guo)，所以測(ce)試時盡量在無光源影響的環(huan)境中進(jin)行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如(ru)果(guo)測試電(dian)流為pA級別，需要給探針臺增加屏(ping)蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電(dian)極(ji)材料連接時通常(chang)會使用探針(zhen)臺Chuck盤做(zuo)電(dian)極(ji)，但是Chuck盤的平整(zheng)度會對材料的接觸面有影響，那么(me)此(ci)時就需要使用引電(dian)極(ji)。